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微系統技術與應用，實驗一示範
步驟一，HMD及光阻塗佈
步驟二，固烤
步驟三(1)，曝光機曝光量量測
步驟三(2)，曝光機曝光量量測
步驟四(1)，AZ光阻曝光
步驟五(1)，AZ光阻顯影
步驟六，顯影後清潔
步驟四(2)，AZ光阻曝光
步驟五(2)，AZ光阻顯影
步驟七，廢液回收
微系統技術與應用，實驗二示範
步驟一，BOE蝕刻
步驟二，KOH蝕刻
微系統技術與應用，實驗三示範
步驟一，PDMS調配
步驟二，PDMS澆注
步驟三，PDMS固化
微系統技術與應用，實驗四示範
電鑄與翻模
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